業務用単品レンズの設計・製造・光学技術セミナー - 株式会社レンズ屋 - 東京
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レンズデータライブラリー：その他ステッパー用レンズ
NA０．31 ５倍 λ＝248.5
NA０．69 ４倍 λ＝248
NA０．42 2.5倍 λ＝365
NA０．56 ５倍 λ＝365
NA０．６ ４倍 λ＝193
NA０．31 ５倍 λ＝248.5
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